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公益財団法人
仙台応用情報学研究振興財団

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光回路の立体加工技術に関する研究

2000 年(平成 12 年)~2003 年(平成 15 年)

東北大川上グループで開発された自己クローニング法を用いて高集積光回路の実現を目指しているが、その上で必要となる導波損失の低減の検討を行った。導波構造および作製条件の最適化により単純な導波路部分で 0.1dB/mm、導波路に周期的な凹凸を形成しブラッグ反射ミラーの機能を持たせた部分において 0.4dB/mm という値を実証した。この値は現時点でも世界トップレベルの性能である。